Marktgröße für optisch gemusterte Wafer-Inspektionsgeräte (OPWIE) 2023 bis 2032

Optical Patterned Wafer Inspection Equipment (OPWIE) ist eine Art Inspektionsgerät, das im Halbleiterherstellungsprozess zur Erkennung von Defekten in strukturierten Wafern eingesetzt wird. Gemusterte Wafer sind Wafer, die bearbeitet wurden, um das gewünschte Schaltkreismuster zu erzeugen. Defekte in strukturierten Wafern können zu Fehlfunktionen von Halbleitern führen. Daher ist es wichtig, sie frühzeitig im Herstellungsprozess zu erkennen. OPWIE-Systeme verwenden optische Techniken, um den strukturierten Wafer abzubilden und Defekte zu identifizieren. Der gebräuchlichste Typ des OPWIE-Systems ist das Hellfeldsystem, das eine weiße Lichtquelle zur Beleuchtung des Wafers und eine Kamera zur Aufnahme des Bildes verwendet. Andere Arten von OPWIE-Systemen umfassen Dunkelfeldsysteme, die eine Dunkelfeldbeleuchtungsquelle verwenden, um den Kontrast von Defekten zu verbessern, und Phasenkontrastsysteme, die eine Phasenkontrastbeleuchtungsquelle verwenden, um die Auflösung des Bildes zu verbessern.

AUSWEIS : IL_1167 | Sprachen : En/Jp/Fr/De | Herausgeber : IL | Format :